Kontaminationen in der Mikrostrukturierung

Jan Albers (Autor)

Buch | Softcover

168 Seiten

2005 | 1., Aufl.
Hanser, Carl (Verlag)
978-3-446-40291-1 (ISBN)

Titel ist leider vergriffen;
keine Neuauflage

Artikel merken

Dieses Buch erläutert die grundlegenden Zusammenhänge zwischen den Techniken der Mikrostrukturierung und den unvermeidbaren Kontaminationen durch die Umgebung. Es richtet sich an Dozenten und Studenten von Hochschulen mit Schwerpunkt Mikrosystemtechnik, aber auch an Ingenieure und Facharbeiter, die im Bereich Mikrosystemtechnik arbeiten.
Zunächst wird ein kurzer Einblick in die Mikrostrukturtechniken gegeben. Es schließen sich Informationen über die verschiedenen Kontaminationsquellen und über die Eigenschaften und Defektmechanismen kleinster Partikel und molekularer Kontaminationen an. Des Weiteren werden die wichtigsten Mess- und Analysetechniken für Verunreinigungen sowie der grundsätzliche Aufbau eines Reinraumes vorgestellt.
Abschließend wird der Mensch im Reinraum betrachtet und wichtige Regeln für das Arbeiten im Reinraum aufgestellt.
Das Buch bietet Ingenieuren einen umfangreichen Einblick in dieses wichtige Thema der Mikrosystemtechnik und ist eine gute Grundlage für die Schulung des Reinraumpersonals. Nur gut geschultes Personal ist in der Lage, die Gefahr durch Verunreinigungen zu erkennen und sie zu vermeiden.

Dr. Jan Albers hält Vorlesungen zur Mikrosystemtechnik und Elektrochemie an der FH Dortmund und ist als Leiter der Schulungsabteilung bei der ELMOS Semiconductor AG verantwortlich für die Weiterbildung der Ingenieure im Bereich Reinraum-, Halbleiter- und Prozesstechnologie.

Sprache	deutsch
Maße	160 x 227 mm
Gewicht	297 g
Einbandart	kartoniert
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Schlagworte	Hardcover, Softcover / Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • HC/Technik/Elektronik, Elektrotechnik, Nachrichtentechnik • Kontamination • Kontaminationen • Mikrostrukturen • Mikrosystemtechnologie • Reinraumtechnik
ISBN-10	3-446-40291-8 / 3446402918
ISBN-13	978-3-446-40291-1 / 9783446402911
Zustand	Neuware