23rd Annual BACUS Symposium on Photomask Technology (Proceedings of SPIE)
Seiten
2003
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-5143-9 (ISBN)
SPIE Press (Verlag)
978-0-8194-5143-9 (ISBN)
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| Erscheint lt. Verlag | 28.1.2004 |
|---|---|
| Zusatzinfo | illustrations |
| Verlagsort | Bellingham |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-8194-5143-6 / 0819451436 |
| ISBN-13 | 978-0-8194-5143-9 / 9780819451439 |
| Zustand | Neuware |
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