6th International Symposium on Plasma and Process-induced Damage

Institute of Electrical and Electronics Engineers (Autor)

Buch | Softcover

138 Seiten

2001
I.E.E.E.Press (Verlag)
978-0-9651577-5-9 (ISBN)

Infos

This work covers topics such as: damage measurement; plasma characterization and damage mitigation; non-volatile memories; ultra-thin dielectrics; contamination; and multi-terminal effects.

Produkt-Details

• Erscheint lt. Verlag: 30.6.2001
• Reihe/Serie: IEEE Conference Proceedings
• Verlagsort: Piscataway NJ
• Sprache: englisch
• Themenwelt: Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
• ISBN-10: 0-9651577-5-X / 096515775X
• ISBN-13: 978-0-9651577-5-9 / 9780965157759
• Zustand: Neuware