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Mems Performance & Reliability

Tim Rost (Herausgeber)

Media-Kombination

2000
I.E.E.E.Press
978-0-7803-6231-4 (ISBN)

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This video tutorial focuses on silicon microelectromechanical systems' (MEMS) performance and reliability, how to measure them, and their relationship to design issues. A CD-ROM accompanying the video set includes a bibliography and excerpts from four relevant IEEE conference proceedings.

Erscheint lt. Verlag	31.1.2000
Mitarbeit	Darsteller: Paul McWhorter, Samuel L. Miller, William M. Miller
Zusatzinfo	bibliography
Verlagsort	Piscataway NJ
Sprache	englisch
Themenwelt	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
Themenwelt	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	0-7803-6231-4 / 0780362314
ISBN-13	978-0-7803-6231-4 / 9780780362314
Zustand	Neuware