IEEE 14th International Micro Electro Mechanical Systems Conference (Mems), 2001
2001
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6251-2 (ISBN)
I.E.E.E.Press (Hersteller)
978-0-7803-6251-2 (ISBN)
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This CD-ROM covers topics such as: electrostatic batch assembly of surface MEMS using ultrasonic triboelectricity; progress in silicon etching by in-situ DC microplasmas; the first low voltage, low noise differential silicon microphone, technology and water-powered osmotic microactuator.
| Erscheint lt. Verlag | 31.1.2001 |
|---|---|
| Verlagsort | Piscataway NJ |
| Sprache | englisch |
| Themenwelt | Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik |
| ISBN-10 | 0-7803-6251-9 / 0780362519 |
| ISBN-13 | 978-0-7803-6251-2 / 9780780362512 |
| Zustand | Neuware |
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