MEMS/MOEM Packaging (eBook)

Concepts, Designs, Materials and Processes

Ken Gilleo (Autor)

eBook Download: PDF

2005
220 Seiten
McGraw-Hill Education (Verlag)
978-0-07-158909-3 (ISBN)

While MEMS technology has progressed rapidly, commercialization of MEMS has been hindered by packaging technology barriers and costs. One of the key issues in the industrialization of MEMS, MOEM and ultimately Nanoelectrical devices is the development of appropriate packaging solutions for the protection, assembly, and long term reliable operation. This book rigorously examines the properties of the materials used in MEMS and MOEN assembly then evaluates them in terms of their routing, electrical performance, thermal management and reliability. With this as a starting point, the book moves on to discuss advanced packaging methods such as: molded thermoplastic packages for MEMS, wafer-assembled RFID, and wafer-level stacked packaging.

Erscheint lt. Verlag	1.8.2005
Sprache	englisch
Themenwelt	Naturwissenschaften
	Technik ► Elektrotechnik / Energietechnik
	Technik ► Maschinenbau
ISBN-10	0-07-158909-0 / 0071589090
ISBN-13	978-0-07-158909-3 / 9780071589093

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